|
特徵 |
XY =35mm , Z = 50mm區域的非接觸形狀測定功能 |
規格 |
X 軸 35mm 、微動 0.1μm / Pulse
Y 軸 35mm 、微動 0.1μm / Pulse
Z 軸 50mm 、微動 0.05μm / Pulse |
| 雷射掃瞄顯微鏡 ( AFT250) |
| 最小鑑別力 0.1μm行程 50m m (Z軸驅動類型) |
| 使用雷射 670nm紅色半導體雷射 |
| 雷射能力 235μW透鏡輸出 (實測值) |
| Z軸排入線的規模隱藏的高社LIF171 |
| 取像系統成像透鏡焦點距離 80mm |
| 1/ 3” 英寸黑白照片 CCD照相機 |
| 透鏡:標準 20倍(Nikon CF Plan ELWD20X WD = 11mm ) |
| 裝置構成 |
| 滑台驅動器 B O X |
| 防振橡皮腳墊 |
| AC-100V 插頭 ( 700VAmax) |
| 電腦 ( WindowsXP Pro) |
| 15” T F T液晶顯示器 |
| AFT35-3DL 控制軟體 |
| 大小大約 190W*大約280D*約355H (mm) |
| 重量約12Kg |
|
機台精度 |
在使用溫度環境 20℃ ± 1℃ 定義 |
| X-Y軸精度︰ 3μm (直線) |
X-Y真直度︰ 20μm (在最大限度劃水 35m m 41秒角)
X-Y 平面度︰ 3μm (由光學降半音數據的平面補正之後)
Z 軸直角度︰ 20μm (在最大限度 35m m 41秒角) |
| 變位計算器再現性︰ 1σ =0.5μm (20次定點再測定) |
