3. ³Ì¦nªº Schottky FEG
LVEM5 ¹q¤lºj±Ä¥Î³Ì¦nªº¨v¯S°ò¼ö³õµo®gºj¡] Schottky FEG ¡^¡A¬°¹q¤lºj˸m¬[ºc¡A´£¨Ñ°ª«G«×°ª¬Û¤zªº¹q¤l§ô¡A¦P®É¹q¤lºj¨Ï¥Î¹Ø©R¥i¹F 2000 ¤p®É¥H¤W¡C
4. ¥|ºØ¹Ï¹³¼Ò¦¡ TEM/ED/STEM/SEM
¾¨ºÞ LVEM5 ¬O¥þ¥@¬É³Ì¤pªº¬ï³z¦¡¹qÃè¡A«oÝ®e¶Ç²Î TEM ªº©Ò¦³¼Ð·Ç¹Ï¶H¼Ò¦¡¡J TEM/ED/STEM/SEM ¡F¦Ó¥B¥|ºØ¼Ò¦¡¶¡¤Á´«Â²³æ§Ö±¶¡C¨ä¤¤ SEM ±Ä¥ÎI´²®g±´ÀY¡] BSE ¡^¡A©ñ¤j¿²v : 1,200 ~ 300,000+ ¡AªÅ¶¡¤À¿ë²vÀu©ó 2.5 nm ¡A¥Ñ©ó±Ä¥Î BSE ±´ÀY¡A¼Ë«~µL¶·Áá¾É¹q½¤¡C
5. ¯u¥¿ªº®à¤W«¬¹qÃè
LVEM5 ¬O¯u¥¿ªº®à¤W«¬¹qÃè³]p , ¤SºÙ°g§A«¬¬ï³z¦¡¹qÃè¡A¬O¥Ø«e°ª¶¥¹qÃ褤³Ì¸gÀÙ¹ê¥Îªº¸Ñ¨M¤è®×¡C
6. ¹Ï¶H¥\¯à
LVEM5 ¦w¸Ë¤F Proscan ±½´yªº 1300 x 1030 ¹³¯À CCD ·Ó¬ÛÃèÀY¡AÀò¨ú TEM/ED ¹Ï¶H¡C LVEM5 ¦w¸Ë¤F ProDIA ¹Ï¹³³B²z³nÅé¡A¥H¶i¦æ¹Ï¹³ªºÂ^¨ú¡B¾ã²z¡B¦sÀɵ¥¥\¯à¡A¦P®É°t³Æ¤F¹Ï¹³´ú¶q¡B¤ÀªR¥\¯à¡C ProDIA ÁÙ°t³Æ¤F¦h¼Ë¤Æªº¹Ï¹³³B²z¡C
7. µL¬V¦â»s¼Ë
LVEM5 ±Ä¥Î¼Ð·Çªº 3mm »Éºô©Ó¸ü¼Ë«~¡A¥Ñ©ó§¹¥þ¤£»Ýn¬V¦â¡A»s¼Ë¹Lµ{±o¥H²¤Æ¡C¦Ó¥BµL¬V¦â»s¼Ë¥i¥R¤À«O¯d¼Ë«~ªº¯u¹ê·LÆ[§Î»ª¡C |