高精密非接觸式空氣測高器 / 氣壓式測高計 / 氣壓式測厚計 |
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| Model |
DS -16C |
| 測定範圍 |
10 mm ( 可動範圍 16 mm) |
| 標準噴嘴內徑 |
φ 2.0 mm |
| 鑑別力 |
1.0 μ m |
| 精度 |
± 2 σ ︰ ± 2.0 μ m |
| ( 主體外形和 DS-16h 大致相同 ) |
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特徵：
※ 非接觸式量測適用於軟性材質或不可碰觸表面之量測
※ 內藏微處理器是和 PC 的界面 (RS 232c ) 能單獨使用軟體的絕對值補正
※ 由於微小編碼器採用的低成本化實現
※ 獨自的壓電弁 ( 上下動 ) 因的採用進一步高精度化 |
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高精密非接觸式空氣測高器 / 氣壓式高度計 |
| Model |
DS -05C |
| 測定範圍 |
4 mm (可動範圍5 mm) |
| 標準噴嘴內徑 |
φ1.2 mm |
| 鑑別力 |
1.0 μ m |
| 精度 |
± 2 σ ︰ ± 2.0 μ m |
| ( 主體外形和 DS-05h 大致相同 ) |
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特徵：
※ 非接觸式量測適用於軟性材質或不可碰觸表面之量測
※ 內藏微處理器是和 PC 的界面 (RS 232c ) 能單獨使用軟體的絕對值補正
※ 由於微小編碼器採用的低成本化實現
※ 獨自的壓電弁 ( 上下動 ) 因的採用進一步高精度化 |
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| 超高精密非接觸式空氣測高器 / 氣壓式高度計 |
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| Model |
DS-05H |
| 測定範圍 |
4 mm (可動範圍5 mm) |
| 標準噴嘴內徑 |
φ1.2 mm |
| 鑑別力 |
0.02μm - 0.05μm |
| 精度 |
± 2 σ ︰ ± 2.0 μ m |
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特徵：
※ 非接觸式量測適用於軟性材質或不可碰觸表面之量測 |
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| 超精密空氣測長治具 |
| Model |
DS-205H |
| 空氣掃描儀DS-05H裝載 |
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示意圖
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| 高精密Ｘθ軸氣壓掃描式自動測定 |
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| Model |
AS-3000 |
| 連續式的自動測量，檔案輸出測量結果 (Excel) |
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特徵：
※ 非接觸式量測適用於軟性材質或不可碰觸表面之量測
空氣掃描儀 DS-05H裝載：
※ 非接觸式空氣伺服機構 (X 軸 )
※ 測量用空氣軸承脈波電動機轉動軸 ( θ 軸 )
※ 陶瓷測定載物台
※ 花崗石平台
※ 筆記型電腦
※ 控制器附屬
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| 高精密 XY 空氣伺服載物台 |
| Model |
AS-60XY |
| 行程 |
XY=60mm |
| 分解能 |
0.1μｍ |
| 精度 |
2σ：±0.2μｍ |
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