備註：
(1) 若直徑≧0.3mm，則量測區域為13x13mm。若直徑≦0.3mm，則依照比例縮小到4x4mm(截至直徑=0.1mm).
(2) 若直徑≧0.1mm，則量測區域為4x4mm。若直徑≦0.1mm則依照比例縮小到1x1mm(截至直徑=0.03mm).
(3) 若直徑≧0.1mm，則量測區域為4x4mm。若直徑≦0.1mm則依照比例縮小到1x1mm(截至直徑=0.05mm).
(4) 是依照平均直徑值(X+Y)/2來計算.
(5) 若直徑≦0.1mm，則線性精度為±0.5μm。若直徑≧1mm，，則線性精度為±1μm.
(6) 精度檢測依據：利用標準圓柱規(A型：Φ=3mm,B型：Φ=1mm)移動通過XY掃瞄平面核心區域時，所測得平均直徑的最大偏移量.
(7) 當A型測微器量測區域為5x5mm，B型測微器量測區域為2x2mm.
(8) 較小尺寸值是指雷射光束接觸點的厚度或直徑.
(9) 代表性數據，由於常溫變化，造成量測數據有飄移傾向狀態，當量測標準圓柱規時，熱膨脹係數是無作用(INVAR).

量測程序
立即數據顯示：當完成參數指令n≧1，掃瞄工件(n次)完成後，立即顯示平均值數據。
接續數據顯示：當量測參數值k≧1，立即數據顯示完成後，接續顯示平均值、最大值、最小值及偏差值(最大值-最小值)。

輸出/輸入埠
2組數位輸入埠/RS232和RS485，最大傳輸速率115.2k/乙太網路10Base-T/ALS二進位視訊。

量測模式
Free-Running模式：立即顯示量測數據，連續不斷地處理群組即刻數據並計算要顯示的終端數據。
On-Command,Single-Shot(下指令，單點式)：在外部指令之後，只有計算1群組相關終端數據處理程序，並顯示量測數據，此外部指令可以是在數位數入埠之上升電位(rising edge)或經由乙太網路之指令訊息。
On-Command,連續式：經外部指令設定的整個時間間隔，處理所有量測完成即刻數據，計算要顯示的終端數據，量測時間間隔經由在數位輸入埠邏輯高電位設定，或經由乙太網路設定開始/停止訊息。
Auto-Sync：類似On-Command，Single-Shot單點式，但此量測模式是依據量測狀態(當1個被測工件在量測區域)，再經程控的延遲後自動啟動檢測。